Region-based Pattern Generating System for Maskless Photolithography

Younghun Jin ,  Kiwon Pa ,  k 외 4명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2005 .06

DMD를 이용한 마스크리스 리소그래피 시스템의 고해상도 구현을 위한 다중 빔 에너지 분석에 관한 연구

김종수 ,  신봉철 ,  조용규 외 2명

한국산학기술학회 논문지

2011 .02

DMD기반 Maskless Lithography 공정에서의 Grayscale을 이용한 미세 구조물을 갖는 마이크로 믹서 패턴 제작

조용규 ,  조명우 ,  하석재 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

Photolithography

문상영

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

마이크로패턴 정밀도 향상을 위한 Maskless Lithography 공정에 관한 연구

김운용 ,  임동욱 ,  김지훈 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

Maskless 방식을 이용한 PCB 생산시스템의 진동 해석

장원혁 ,  이재문 ,  조명우 외 2명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2009 .11

Uniformity Improvement of Micromirror Array for Reliable Working Performance as an Optical Modulator in the Maskless Photolithography System

Kook-Nyung Lee ,  Yong-Kweon Kim

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2001 .06

DMD에서의 홀로그램 패턴 특성 분석

우성수 ,  홍성희 ,  홍지수 외 7명

한국통신학회 학술대회논문집

2016 .01

Maskless 노광공정을 위한 LDI(Laser Direct Imaging) 시스템 개발 및 단일 레이저 빔 에너지 분포 분석

이수진 ,  김종수 ,  신봉철 외 2명

한국생산제조학회지

2010 .12

Novel Maskless Bumping for 3D Integration

Kwang-Seong Choi ,  Ki-Jun Sung ,  Byeong-Ok Lim 외 4명

[ETRI] ETRI Journal

2010 .04

Maskless 방식을 이용한 PCB생산시스템의 진동 해석

장원혁 ,  이재문 ,  조명우 외 2명

한국소음진동공학회논문집

2009 .12

마스크리스 리소그래피 방법을 이용한 마이크로 히터 패턴 설계 및 제작

조용규 ,  신봉철 ,  조명우

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2011 .04

하이브리드 노광법의 광학 모델링 개발 및 분석

박성민 ,  남경목 ,  우승표 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .04

레이저를 이용한 직접금속조형(DMD) 기술

지해성 ,  서정훈

한국CDE학회 논문집

2003 .09

DMD를 이용한 차량용 전조등 소개

이태원 ,  박인흠

오토저널

2011 .07

Fundamentals of Layout & Photolithography

박창현

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

DMD 헤드램프 차량 적용 효과에 대한 연구

원용희 ,  이혁민 ,  한성연 외 3명

한국자동차공학회 춘계학술대회

2018 .06

TSP검사용 micro bump 제작을 위한 maskless lithography system 공정 연구

정지선 ,  김기범 ,  임동욱 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

Laser-Induced Maskless wet Etching of Silicon Wafer

Jae Hoon Cheong ,  Se Ki Pa ,  k 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

모사가스 내에 함유된 황 화합물(DMDS) 제거를 위한 흡착제 연구

이지은 ,  범희태 ,  박종호

한국에너지학회 학술발표회

2011 .10