Super Junction MOSFET의 개발 현황 및 전망

Q: 이 논문에서 정의한 Super Junction MOSFET이란 무엇인가?

기존 MOSFET의 실리콘 한계를 극복하여 온 저항을 획기적으로 감소시킨 고전압 MOSFET 기술이다. N 영역과 P 영역의 전하량을 동일하게 유지하는 전하 균형 조건을 통해 항복 전압을 유지하면서도 전력 손실을 줄여 전력 변환 기기의 효율을 높이는 소자이다.

Q: Super Junction MOSFET의 성능 향상을 위한 핵심 공정 기술은 무엇인가?

연구 결과, 고전압 소자에서는 셀 피치 감소와 전하 균형 최적화를 위해 다층 에피 성장, 이중 이온 주입, Trench filling 기술이 활용된다. 또한 중전압 소자에서는 Trench filling과 경사각 이온 주입, 게이트 연장을 통한 필드 플레이트 효과가 효과적인 방법으로 분석된다.

윤종만

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