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팽성환 (경성대학교) 최우진 (경성대학교) 곽동주 (경성대학교) 성열문 (경성대학교)
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한국조명·전기설비학회 한국조명·전기설비학회 학술대회논문집 한국조명·전기설비학회 2010 추계학술대회 논문집
발행연도
2010.9
수록면
331 - 332 (2page)

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Transparent conductive metal oxide films of In<SUB>2-x</SUB>Ti<SUB>x</SUB>O₃ (ITiO) and In<SUB>2-x</SUB>Sn<SUB>x</SUB>O₃ (ITO) were deposited by RF magnetron sputtering at substrate temperature of 300℃ and at high rate (~10㎚/min). Electrical and optical properties of the films were investigated as well as film structure and morphology, as it is compared with the commercial ... 전체 초록 보기

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