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QMS를 이용한 플라즈마 공정 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
QMS 신뢰성 평가 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
H2+Ar+CF4 ICP 시스템에서 CF4 주입위치에 따른 분압의 QMS Monitoring
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
QMS를 이용한 radical의 공간분포 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
H2+Ar+CF4 ICP 시스템에서 CF4 상하부 주입시 Mesh 효과에 따른 Multi QMS monitoring
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
플라즈마 바이오 응용을 위한 QMS 시스템 구성
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
Etch back용 remote plasma system의 수치 모델링 및 QMS monitoring
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
QMS 이온소스 anode의 charging effect가 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
QMS를 이용한 반도체 공정용 혼합 기체 조성비의 정량적 측정 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
Plasma characterization of a mesh separated dual plasma source by L-probe and QMS
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
Contamination effect of ion source of Quadrupole Mass Spectrometer(QMS)
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Time dependence of Ionic Current for Quadrupole Mass Spectrometer(QMS)
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
Developmental Expression of Bombyx mori QM Homologue
한국응용곤충학회 학술발표회
2001 .01
Studies on Cellulase Production by Trichoderma reesei (QM 9414)
미생물학회지
1978 .12
사중극 질량분석기[QMS]를 이용한 혼합가스 성분분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
QMS와 ICCD-OES를 이용한 모듈레이티드 펄스 스퍼터링 방법으로 증착한 Indium-Tin-Oxide (ITO)박막 공정 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
사중극 질량 분석기(QMS)를 이용한 혼합기체 조성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
사중극 질량분석기[QMS]를 이용한 H₂ 및 CO의 부분압 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
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