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TaNx 박막의 X-선 회절법에 의한 결정구조 해석
한국결정학회 학술연구발표회
2001 .01
TaOx층 형성에 따른 TaNx / Cr 박막의 저항특성 변화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
PEALD 장치 제작 및 Co박막 증착
Applied Science and Convergence Technology
2007 .03
고정밀 박막 저항체용 TaNx film에서 Cr interlayer가 film의 저항온도계수 안정화에 미치는 영향에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
ALD와 PEALD 공정에서의 파티클 형성과 박막 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
W-B-C-N 확산방지막의 특성 및 열적 안정성 연구
한국자기학회지
2006 .02
Investigation of TaNx diffusion barrier properties using Plasma-Enhanced ALD for copper interconnection
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
TaNx / Cr, Cermet 적층 박막의 비저항 및 저항온도계수에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1994 .06
Microstructural evolution of tantalum nitride thin films synthesized by inductively coupled plasma sputtering
한국현미경학회지
2020 .01
In-situ PEALD process monitoring using high-speed optical plasma monitoring system
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Nano-Mechanics 분석을 통한 질화 텅스텐 확산방지막의 질소 유량에 따른 박막내 응력 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
질소와 탄소 함량에 따른 티타늄 화합물 박막의 색상 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
Cu 금속 배선에 적용되는 질소와 탄소를 첨가한 W-C-N 확산방지막의 질소불순물 거동 연구
Applied Science and Convergence Technology
2007 .09
질소 이온빔이 TiN 박막의 형성에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 SiOx 박막연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Cu 금속 배선에 적용되는 질소와 탄소를 첨가한 W-C-N 확산방지막의 질소불순물 거동 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
Evaluation of Barrier Films Against Lithium Diffusion
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
초고주파 (162 MHz) 다중 분할 전극 플라즈마 소스를 이용한 silicon nitride PEALD 공정연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
불순물을 주입한 텅스턴 박막의 확산방지 특성과 박막의 물성 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
플라즈마 원자층 증착기술을 이용한 반응가스에 따른 SnO2 박막 성장 및 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
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