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박원규 (나노소자특화팹센터) 김창주 (나노소자특화팹센터) 전동환 (나노소자특화팹센터) 신현범 (나노소자특화팹센터) 강호관 (나노소자특화팹센터) 신기수 (나노소자특화팹센터) 고철기 (나노소자특화팹센터)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집
발행연도
2009.2
수록면
79 - 79 (1page)

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