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저자정보
심형철 (한국과학기술원) 송진원 (한국기계연구원) 김수현 (한국과학기술원) 한창수 (한국기계연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집
발행연도
2009.2
수록면
92 - 92 (1page)

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