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저자정보
안극섭 (성진하이메크) 김홍중 (성진로얄모션) 안진우 (경성대학교) 코세키 타카후미 (토쿄대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제60권 제1호
발행연도
2011.1
수록면
63 - 70 (8page)

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This paper presents the design and operating characteristics of the novel cylindrical linear motor which is designed for the long stroke XY stage. In the long stroke structure, the air gap is changed by the distortion and bending effects, and it makes additional position error in the XY stage. In order to consider the distortion and bending effects of the long stroke, the field part of the cylindrical linear motor is designed as an open structure, and the stroke is supported by the bridge guide which is positioned in the open field part. The mechanical bridge guide can reduce the bending effects of the stroke and can keep a constant air gap.
The detailed design process of the proposed cylindrical linear motor is presented in this paper. The proposed motor is analyzed by the 3D FEM technology. The practical XY stage which uses the proposed motor is tested to verify the propose novel cylindrical linear motor. The FEM and experimental results show the effectiveness of the proposed motor.
#XY stage #Cylinderical linear motor #Open field part

목차

Abstract
1. 서론
2. 원통형 리니어모터의 구조
3. 대용량 XY 스테이지용 원통형 리니어모터의 설계
3. 특성 해석
4. 실험 결과
5. 결론
참고문헌
저자소개

참고문헌 (12)

참고문헌 신청
장석명 / 1999 / 리니어 모터 기술 / 대한전기학회지 48(2):4~8 dbpia 고 임달호 박사 추모회 / 1997 / 電磁에너지 변환기기의 해석과 응용 / 한양대학교 출판원 google schola 産業用リニアモータの特性測定法と評価方法調査専門委員会 / 2005 / 産業用リニアモータの特性測定法と評価方法 :22 google schola 正田 英介 / 1991 / リニアドライブ技術とその応用 / オーム社 google schola 松原厚 / 2007 / IMTS,JIMTOFにおける位置決め技術の動向, In (日本)精密工学会超精密位置決め専門委員会定例会講演 前刷集，No.2006-5 :1~6 google schola

이 논문의 저자 정보

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