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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.1
- 수록면
- 107 - 114 (8page)
이용수
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본 논문에서는 나노 래핑 표면의 형상과 레이저산란 패턴 사이의 실험적 모델링에 관한 연구를 하였다. 우선, 반사표면에서 나타나는 산란광 속성들을 고찰하여 암시야 기반의 레이저산란 검사 메커니즘을 구성하였다. 이 메커니즘을 이용한 레이저산란 패턴 분석의 경우, 나노 래핑 표면 형상으로부터 산란된 레이저산란 성분은 불규칙하게 사선형태로 교차됨을 알 수 있다. 또한, 실험 계획법을 기반으로 도출된 매개변수로 적용된 최적의 레이저산란 영상에서 나노 래핑 표면 거칠기와 레이저산란 성분 사이의 상관관계를 회귀분석법을 이용하여 수학적 모델링을 시도 하였다. 이 모델의 검증을 위해 나노 래핑 표면 3 종류의 거칠기에 대해 50 번의 반복실험을 수행한 결과, 제시된 수학적 모델은 실제 거칠기 값에 근접하게 추정할 수 있음을 보였다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 암시야 레이저 산란시스템
3. 나노 래핑 표면의 패턴분석
4. 레이저산란 매개변수 선정
5. 나노 래핑 표면과 레이저산란 패턴과의 상관관계
6. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (16)
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1. [학술지(정기간행물)] - Zahwi, S / 2001 / Some Effects of Stylus Force on Scratching Surfaces / International Journal of Machine Tools & Manufacture 41 : 2011 ~
2. [학술지(정기간행물)] - Poon, C. Y / 1995 / Comparison of Surface Roughness Measurements by Stylus Profiler, AFM and Non-contact Optical Profiler / WEAR 190 : 76 ~ 88
3. [학술지(정기간행물)] - Kim, G. B / 2009 / A structured mechanism development and experimental parameter selection of laser scattering for the surface inspection of flat-panel glasses / International Journal of Production Research
4. [학술지(정기간행물)] - Park, H. J / 2001 / Dimensional Measurement Using the Machine Vision / Journal of Korean Society of Precision Engineering 18 (3) : 10 ~ 17
5. [학술지(정기간행물)] - Lim, H. S / 2007 / Development and Evaluation of an On-Machine Optical Measurement Device / Machine Tools and Manufacture 47 : 1556 ~ 1562
2. [학술지(정기간행물)] - Poon, C. Y / 1995 / Comparison of Surface Roughness Measurements by Stylus Profiler, AFM and Non-contact Optical Profiler / WEAR 190 : 76 ~ 88
3. [학술지(정기간행물)] - Kim, G. B / 2009 / A structured mechanism development and experimental parameter selection of laser scattering for the surface inspection of flat-panel glasses / International Journal of Production Research
4. [학술지(정기간행물)] - Park, H. J / 2001 / Dimensional Measurement Using the Machine Vision / Journal of Korean Society of Precision Engineering 18 (3) : 10 ~ 17
5. [학술지(정기간행물)] - Lim, H. S / 2007 / Development and Evaluation of an On-Machine Optical Measurement Device / Machine Tools and Manufacture 47 : 1556 ~ 1562
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