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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이윤용 (대림대학) 강환국 (동은에이티에스) 문석환 (한국전자통신연구원)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제43권 제6호
발행연도
2010.12
수록면
309 - 314 (6page)

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The numerical study for the effect of various factors that affect the temperature distribution of the process glass installed above the large rectangular heater plate was carried out. For the calculation, heat flux, distance between heat source and process glass plate, effect of vacuum condition and convection in a chamber were considered as important factors. The results showed that the temperature gradient on the glass was increased at the natural convection because of the buoyancy force increases due to the heated air. Also, the more heat flux and distance between the heater plate and glass increases, the more increasing the temperature gradient was. In the case of isothermal heating wall, the temperature variation was smaller than the uniform heat flux condition.
#Heater plate #Process glass #Heat flux #Isothermal heating wall

목차

Abstract
1. 서론
2. 해석대상과 해석방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (10)

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1. [기타자료] - Y. D. Chung / 2009 / / 6th ICAMD google schola 2. [학술지(정기간행물)] - T. J. Mountziaris / 1991 / / J. Eletrochemical Soc. 138 : 2426 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - R. Mucciato / 2000 / / J. of Crystal Growth 221 : 758 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - T. Bergunde / 1997 / / J. of Crystal Growth 180 : 660 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - F. Durst / 1997 / / J. Crystal Growth 172 : 389 ~ google schola

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