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이헌 (고려대학교) 변경재 (고려대학교) 조중연 (고려대학교) 박형원 (고려대학교) 이성환 (고려대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2010년도 추계학술대회 및 한일 국제 심포지엄
발행연도
2010.11
수록면
45 - 46 (2page)

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질화물 계 발광다이오드의 광추출효율을 향상시키기 위해서 측면형 및 수직형 발광다이오드 상부에 나노임프린팅 공정을 통해서 마이크론 및 서브마이크론 크기의 다양한 표면 요철 패턴을 형성하였다. TiO₂ 졸이 혼합된 고굴절률의 레진을 발광다이오드 웨이퍼 표면에 스핀코팅 한 후 표면 요철 패턴이 형성된 폴리다이메틸실록산 (PDMS) 몰드로 5 atm, 200 ℃의 조건으로 열 경화성 임프린팅 공정을 진행하였다. 측면형 발광다이오드 상 ... 전체 초록 보기

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