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논문 기본 정보
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- 학술대회자료
- 저자정보
- 저널정보
- 대한전자공학회 ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications ICEIC : 2008
- 발행연도
- 2008.6
- 수록면
- 1,012 - 1,016 (5page)
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Deflection behavior of silicon micromachined Fabry-Perot cavity interferometers have been studied and the fabricated devices are classified into three categories depending upon the shape and the location of the deflecting and sealed diaphragm. These are the planar bottom diaphragm, the planar top diaphragm, and the corrugated top diaphragm Fabry-Perot interferometers. The composite dielectric layers of the diaphragms have been optimized for proper mechanical stability and output optical response. Fabrication complexity and device characteristics have been compared to one another. Planar bottom diaphragm interferometers are the easiest to build, but their device characteristics are limited severely. On the other hand, corrugated top diaphragm interferometers are the most complicated to build, but performed best. This distinction can be explained by demonstrating two parasitic phenomena. These are the signal averaging effect and the zero pressure offset effect. Both phenomena are due to the non-planar bending behavior of a diaphragm. The existence and influence of these parasitic effects have been observed by real-time measurement of the diaphragm deflection.
목차
Abstract
1. Introduction
2. Device Fabrication
3. Measurement Results
4. Real-time 3D analysis of diaphragm
5. Conclusions
Acknowledgments
References
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