메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
Sunwoo Lee (인하공업전문대학) SangYeob Na (남서울대학교)
저널정보
대한전기학회 Journal of Electrical Engineering & Technology Journal of Electrical Engineering & Technology Vol.6 No.2
발행연도
2011.3
수록면
280 - 283 (4page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
In the present work, a new approach is proposed for via interconnects of semiconductor devices, where multi-wall carbon nanotubes (MWCNTs) are used instead of conventional metals. In order to implement a selective growth of carbon nanotubes (CNTs) for via interconnect, the buried catalyst method is selected which is the most compatible with semiconductor processes. The cobalt catalyst for CNT growth is pre-deposited before via hole patterning, and to achieve the via etch stop on the thin catalyst layer (ca. 3㎚), a novel 2-step etch scheme is designed; the first step is a conventional oxide etch while the second step chemically etches the silicon nitride layer to lower the damage of the catalyst layer. The results show that the 2-step etch scheme is a feasible candidate for the realization of CNT interconnects in conventional semiconductor devices.
#Carbon nanotubes #Via interconnects #Selective growth #Two-step etch #Physical and chemical reactions

목차

Abstract
1. Introduction
2. Experiments
3. Results and Discussions
4. Conclusion
Acknowledgement
References

참고문헌 (14)

참고문헌 신청
1. [인터넷자원] - ITRS / / ITRS / http://www.itrs.net/Links/2006Update/2006- UpdateFinal. htm google schola 2. [학술지(정기간행물)] - B. Q. Wei / 2001 / Reliability and current carrying capacity of carbon nanotubes / Appl. Phys. Lett 79 (8) : 1172 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - W. Steinhogl / 2002 / Size-dependent resistivity of metallic wires in the mesoscopic range / Phys. Rev. B : 075414 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Z. Yao / 2000 / High-field electrical transport in single-wall carbon nanotubes / Phys. Rev. Lett : 2941 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - J. P. Salvetat / 1999 / Mechanical properties of carbon nanotubes / Appl. Phys. A 69 (3) : 255 ~ google schola

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

Real-Time Spacer Etch-End Point Detection (SE-EPD) for Self-aligned Double Patterning (SADP) Process
Ah ,  eum Han ,  Ho Jae Lee 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2012 .02
Reducing the Search Space for Pathfinding in Navigation Meshes by Using Visibility Tests
Hyungil Kim ,  Kyeonah Yu ,  Juntae Kim Journal of Electrical Engineering & Technology 2011 .11
열차추진시스템에서 Switched Reluctance Motor의 속도제어를 위한 제어기 설계
김성수 ,  김민석 ,  이종우 전기학회논문지 P 2011 .09
차단기와 리클로져의 통신을 이용한 루프 배전계통의 보호협조 적용시 신뢰도 비교에 관한 연구
이희태 ,  문종필 전기학회논문지 P 2011 .09
정착시간과 레귤레이션 특성을 개선한 LDO(Low Dropout Regulator)의 설계
박경수 ,  박재근 전기학회논문지 P 2011 .09

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-560-004338372