플라즈마 방전장치 구동을 위한 전압 및 주파수 가변 전원장치 설계

Q: 이 논문에서 정의한 플라즈마 방전장치란 무엇인가?

기체에 에너지를 가하여 플라즈마 상태를 생성하고 이를 활용하는 장치를 의미한다. 본 연구에서는 가변 전압 및 주파수 전원 장치를 통해 전원을 공급받아 플라즈마 발생 효율을 높이는 대상 장치로 정의된다.

Q: 가변 전압 및 주파수 전원장치가 플라즈마 발생 효율에 어떤 영향을 미치는가?

연구 결과, 벅-부스트 컨버터와 푸쉬-풀 인버터를 결합한 구조를 통해 부하 임피던스의 주파수 응답을 전압 조절로 보상함으로써 넓은 주파수 범위에서 안정적인 전원 공급이 가능하며 플라즈마 발생 효율을 향상시킨다.

주성탁; 정해광; 이교범

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 주성탁 (아주대학교) 정해광 (아주대학교) 이교범 (아주대학교)

저널정보: 전력전자학회 전력전자학회 학술대회 논문집 전력전자학회 2011년도 학술대회 논문집

발행연도: 2011.7

수록면: 386 - 387 (2page)

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본 논문은 플라즈마 방전장치 구동을 위한 가변 전압/주파수 전원장치를 제안한다. 제안하는 전원장치는 가변전압을 위한 벅-부스트 컨버터와 주파수 변환을 위한 푸쉬-풀 인버터로 구성된다. 제안하는 전원장치의 벅-부스트 컨버터는 계통전류 고조파 저감과 DC링크 캐패시터 최소화를 위하여 PFC(Power Factor Col ... 전체 초록 보기

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2013-560-000467641

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