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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
정재인 (포항산업과학연구원) 양지훈 (포항산업과학연구원) 박혜선 (포항산업과학연구원) 정재훈 (포항산업과학연구원) 송민아 (포항산업과학연구원)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제44권 제4호
발행연도
2011.8
수록면
155 - 164 (10page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2011

저항가열 및 전자빔 증발원을 이용한 물질의 증발 특성
정재인 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2011.08 학술대회자료
전자빔 증발원을 이용한 물질의 증발 특성
정재인 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명 한국표면공학회지 2011.08 학술저널

초록· 키워드

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Electron beam evaporation source is widely used to prepare thin films by physical vapor deposition because it is very effective to vaporize materials and there is virtually no limit to vaporize materials including metals and compounds such as oxide. In this study, evaporation characteristics of various metals and compounds from an electron beam evaporation source have been studied. The 180 degree deflection type electron beam evaporation source which has 6-hearth crucibles and is capable of inputting power up to 10 ㎾ was employed for evaporation experiment. 36 materials including metals, oxides and fluorides have been tested and described in terms of optimum crucible liner, evaporation state, stability, and so on. Various crucible liners have been tried to find out the most effective way to vaporize materials. Two types of crucible liners have been employed in this experiment. One is contact type liner, and the other is non-contact type one. It has been tried to give the objective information and the most effective evaporation method on the evaporation of materials from the electron beam evaporation source. It is concluded that the electron beam evaporation source can be used to prepare good quality films by choosing the appropriate crucible liner.
#Electron beam evaporation source #Crucible and crucible liner #Evaporation characteristics #Thin films #Physical vapor deposition

목차

Abstract
1. 서론
2. 진공증착용 증발원
3. 실험 장치 및 방법
4. 결과 및 고찰
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (15)

참고문헌 신청
1. [단행본] - / 1989 / Vacuum Evaporation Sources, Catalogue / R. D. Mattis Company google schola 2. [단행본] - / 1989 / Vacuum Evaporation Sources, Catalogue / Jori Resources Corp. google schola 3. [단행본] - / 1989 / Evaporation Sources, Catalogue / Vac's Metal Corp. google schola 4. [단행본] - / 1990 / Graphite Applications, Catalogue / Toyo Tanso google schola 5. [인터넷자원] - / / http://www.plansee.com/english/index.html google schola

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