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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이찬 (수원대학교) 길현권 (수원대학교) 노명근 (엘오티베큠 기술연구소)
저널정보
한국유체기계학회 한국유체기계학회 논문집 유체기계저널 제14권 제5호
발행연도
2011.10
수록면
18 - 23 (6page)

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A CFD analysis method is developed and applied for investigating the gas flow and the byproduct particle trajectory in Roots type vacuum pump. The internal fluid flow and thermal fields between the rotors and the housing of vacuum pump are analyzed by using the dynamic mesh, the numerical methods for unsteady 2-D Navier-Stokes equation and the standard k-ε turbulence model of the Fluent code. Coupled with the flow simulation results, the particle trajectory of the byproduct flowing into the pump with gas stream is analyzed by using discrete phase modeling technique. The CFD analysis results show the pressure, the velocity and the temperature distributions in pump change abruptly due to the rotation of rotors, and back flows are produced due to the strong reverse pressure gradients at rotor/rotor and rotor/housing clearances. The predicted byproduct particle trajectory results also show the particles impinge on the clearance surfaces between the housing and the rotor of pump and then may form the deposit layer causing the failure of pump.
#Vacuum pump(진공 펌프) #Dynamic mesh(동적 격자) #Housing(하우징) #Rotor(회전차) #Clearance(간극) #Back flow(역류) #Particle Trajectory(입자 궤적) #CFD(전산유체역학)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 대상 진공 펌프 및 해석 방법
3. 해석 결과 및 검토
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (10)

참고문헌 신청
1. [단행본] - 황태성 / 2008 / 기초진공기술 / 보문당 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - 이상윤 / 2010 / 반도체/디스플레이 공정급 건식진공펌프 개발 개요 / 한국진공학회지 19 (4) : 265 ~ 274 dbpia 4. [보고서] - 이찬 / 2010 / 반도체 공정용 진공펌프계통해석 및 WH4400의 유동/구조 해석 google schola 5. [인터넷자원] - / / TEMAZ google schola 6. [학술지(정기간행물)] - Monnier, D. / 2009 / Gaseous Phase Study of the Zr- Organometallic ALD Precursor TEMAZ by Mass Spectrometry / Journal of Electochemical Society 156 (1) : 71 ~ 75 google schola

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