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초록·키워드
본 연구의 목적은 LCD 공정에서 사용되는 반송로봇의 상태감시 파라미터를 선정하고 이를 이용하여 상태감시 방법을 제안하는데 있다. LCD 반송로봇의 주행부 진동특성을 파악하기 위하여 주행부 감속기의 기어물림주파수(GMF)를 구하고, 주파수분석을 통해 이를 확인하였다. 취득데이터의 재연성을 확보하기 위하여 데이터 취득 운행 패턴을 선정하고 실험을 통해 재연성을 확인하였다. 무선데이터 취득 시스템을 구축하고 이를 이용하여 반송로봇의 상태를 감시하기 위한 기어물림 주파수를 중심으로 파라미터로 선정하였다. 취득된 데이터의 표준편차를 이용하는 상태감시 방법과 진폭의 배수를 이용하는 상태감시 방법을 제안하였다.
본문·목차
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