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본 연구에서는 인산 용액 하에서 2차 양극 산화 기법에 의해 제작된 양극 산화 알루미나 기판 상에 최대 13 nm 두께의 얇은 니켈 박막을 증착하며 증착 시 박막 두께에 따라 감소하는 박막의 저항 변화를 살펴보았다. 양극 산화 알루미나 막 표면에 존재하는 미세 기공 구조를 따라 증착된 니켈 박막 역시 다공 구조의 박막으로 성장하게 되며 증착된 박막의 두께 범위 내에서 박막의 저항은 150 kΩ 이상의 값을 보이면서 박막 두께에 따른 저항의 감소가 매우 천천히 일어나는 것을 확인할 수 있었다. 측정된 저항 값은 기존에 보고된 균일한 기판 상에 증착된 동일 두께의 니켈 박막에 비해 매우 큼을 볼 수 있었으며 기판 표면에 존재하는 기공 구조에 의해 핵자가 형성될 수 있는 표면 면적 비가 박막 성장을 설명하는 스미기(percolation) 현상이론에서 예측하는 임계 값보다 매우 적어 미세 기공에 의해 박막의 성장과 함께 나타나는 전자 전도 채널의 형성이 저해됨으로 이해될 수 있다.
이와 함께 기존의 박막 두께에 따른 비저항 모델과 비교해 보았을 때 미세 기공의 경계에서 나타나는 전자 산란 현상 역시 박막 저항의 증가에 기여함을 알 수 있다.
이와 함께 기존의 박막 두께에 따른 비저항 모델과 비교해 보았을 때 미세 기공의 경계에서 나타나는 전자 산란 현상 역시 박막 저항의 증가에 기여함을 알 수 있다.
목차
I. 서론
II. 실험 및 이론
III. 결과 및 논의
감사의 글
참고문헌
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1. [학술지(정기간행물)] - D. B. Haviland / 1989 / / Phys. Rev. Lett 62 : 180 ~
2. [학술지(정기간행물)] - Taejoon Kouh / 2003 / / Phys. Rev. B 67 : 140506 ~
3. [단행본] - M. Ohring / 1991 / The Materials Science of Thin Films / Academic
4. [학술지(정기간행물)] - M. D. Stewart, Jr. / 2007 / / Science 318 : 1273 ~
5. [학술지(정기간행물)] - S. M. Hollen / 2011 / / Phys. Rev. B 84 : 064528 ~
2. [학술지(정기간행물)] - Taejoon Kouh / 2003 / / Phys. Rev. B 67 : 140506 ~
3. [단행본] - M. Ohring / 1991 / The Materials Science of Thin Films / Academic
4. [학술지(정기간행물)] - M. D. Stewart, Jr. / 2007 / / Science 318 : 1273 ~
5. [학술지(정기간행물)] - S. M. Hollen / 2011 / / Phys. Rev. B 84 : 064528 ~
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