MEMS 기반의 스마트 4단자 탐침 개발

김지관 ,  이동원

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

Fabrication and Characterization of Silicon Probe Tip for Vertical Probe Card Using MEMS Technology

Young-Min Kim ,  In-Sik Yu ,  Jong-Hyun Lee

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2004 .08

Silicon On Nothing 공정을 이용한 MEMS 절대압 압력센서 Modeling

심항 ,  송윤흡

대한전자공학회 학술대회

2015 .06

MEMS 기술

엄태준

기계저널

2007 .05

Measurement of Complex Permittivity of Pig’s Digestive Tract Using Open-Ended Coaxial Probe

Ji-Hyun Jung ,  Sang-Wook Kim ,  Se-Yun Kim

ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications

2005 .07

The Estimation of MEMS Properties

Jeongick Lee

한국CDE학회 학술발표회 논문집

2008 .01

[특집 ： MEMS 기술] MEMS 기술의 개요

최창경 ,  도덕희

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2005 .07

MEMS : From Research to Applications

H. Sandmaie ,  W. Lang

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

마이크로 스프링 구조를 갖는 고밀도 MEMS 프로브 카드의 제작

민철홍 ,  김태선

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

마이크로 스프링 구조를 갖는 고밀도 MEMS 프로브 카드의 제작

민철홍 ,  김태선

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

Fabrication of Silicon Micro-Probe for Vertical Probe Card Application

Yong Dae Kim ,  Jun Hwan Sim ,  Jae Woo Nam 외 1명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

MEMS 기반 수직형 Probe 용 Micro scale Ni-Co 소재의 열에 의한 기계적 특성 변화

김승재 ,  이명우 ,  김윤재 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .04

MEMS 기술의 센서 응용

문성욱

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

2001 .11

Applications of MEMS and Bio-MEMS Technologies

Li ,  G.P. ,  Bachman 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 International Symposium

2004 .01

MEMS 기술을 이용한 프로브 카드의 탐침 제작

이근우 ,  김창교

제어로봇시스템학회 논문지

2008 .04

초고주파 집적 회로를 위한 새로운 실리콘 MEMS 패키지

權永洙 ,  李海英 ,  朴宰永 외 1명

전기학회논문지 C

2002 .06

생산기술로서의 MEMS

이승섭

기계저널

2009 .03

MEMS probe system for cancel detection and ablation

황성현

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .11

MEMS 기술의 소개 및 응용

김용협 ,  연순창

대한기계학회 기타 간행물

2002 .11

MEMS 기술의 광학적 응용

문성욱

한국통신학회 기타 간행물

2001 .10