PZT 압전소재와 MEMS기술을 이용한 마이크로소자

Q: 이 논문에서 정의한 마이크로소자란 무엇인가?

마이크로소자는 PZT 압전소재와 MEMS 기술을 결합하여 기존 소자보다 초소형화되고 고기능화된 센서, 구동기, 트랜스듀서 등을 의미한다. PZT 박막/후막, PZT 시트 등의 압전 소재를 활용하여 마이크로 캔틸레버, 브리지, 멤브레인, 압전체 기둥 어레이 형태로 제작된다.

Q: PZT 압전소재와 MEMS 기술을 이용한 마이크로소자 개발의 주요 성과는 무엇인가?

연구 결과, PZT sol-gel 박막 및 후막과 MEMS 공정을 활용하여 마이크로 캔틸레버, 브리지, 멤브레인을 성공적으로 제작하고 특성을 평가하였다. 특히, PZT 압전체 기둥 어레이를 이용한 마이크로 초음파 트랜스듀서 제작 공정을 개선하여 기존 방식과 유사한 전기기계적 및 초음파 특성을 확보하였다.

박준식; 강성군

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박준식 (전자부품연구원) 강성군 (한양대학교)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2011년도 추계학술대회 및 한일 차세대 자동차 표면처리 기술 워크숍

발행연도: 2011.11

수록면: 72 - 73 (2page)

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