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초록·키워드
본 연구에서는 전자산업에서 주로 사용되는 invar 강판재료를 식각한 후 생성되는 FeCl₂을 FeCl₃로 환원하여 회수한 후 재사용하기 위한 식각액 재생공정에서 FeCl₃의 회수 농도와 재생공정의 단수와의 관계를 규명하고 원하는 FeCl₃ 회수 농도를 얻기 위한 공정의 최적단수를 얻어낼 수 있는 simulation program을 개발하였다. 이 프로그램을 위한 여러 가지 parameter는 pilot 실험을 통해 얻었다. 개발된 프로그램에 의한 공정 모사는 폐액의 발생량 및 처리비용을 극소화할 수 있다. 또한 개발된 프로그램은 원하는 FeCl₃의 농도를 얻기 위한 식각액 재생시스템의 최적단수와 공정시간을 계산할 수 있다. 개발된 프로그램은 실제 전자산업에서 식각액 재생 장치의 최적 용량 산정과 식각액 회수 시스템 최적단수 계산에 활용되었다.
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