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한국청정기술학회 청정기술 청정기술 제5권 제1호
발행연도
1999.6
수록면
62 - 77 (16page)

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목차

요약
1. 서론
2. 반도체 생산 공정과 환경 위해성
3. 세정(cleaning)공정의 과정 및 목적
4. 전통적 세정 공정 (액상 세정)
5. 대체 세정 공정
6. 결론 및 제안
감사의 글
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