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저자정보
윤재준 (고려대학교) 박정술 (고려대학교) 백준걸 (고려대학교)
저널정보
대한산업공학회 대한산업공학회 추계학술대회 논문집 2010년 대한산업공학회 추계학술대회 논문집
발행연도
2010.11
수록면
191 - 198 (8page)

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주기신호는 반도체 공정과 같은 고밀도, 고집적화된 제품 생산 공정 장비에서 발생하고 측정되는 대표적 데이터이다. 공정의 센서를 통해 측정되는 주기신호의 이상탐지를 위해서 주기신호를 구간으로 나누어 구간별로 SPC 차트적용 시키는 방법, 각 시점 마다 측정되는 값을 하나의 변수로 고려하여 Hotelling"s , PCA, PLS 등과 같은 다변량 통계 분석을 적용 시키는 방법들이 제시되어 왔다. 이러한 방법들은 다양한 특성을 가지는 주기신호를 분석하고 이상탐지 하는데 많은 한계점을 가진다. 이에 본 논문은 SOM(Self Organizing Map)을
이용하여 주기신호의 특성을 반영한 시각화와 공정의 이상을 탐지하는 방법을 제안한다. 제안하는 알고리즘은 기존 SOM에서 맵 상 하나의 winning node로 하나의 데이터를 표현하는 방식 과 달리 맵 상 모든 노드를 이용하여 데이터를 표현한다. 이를 바탕으로 주기신호를 시각화 시키고 새로 표현된 데이터의 특질(feature)을 기반으로 Logistic regression을 적용시켜 이상을 탐지 한다. 다양한 이상 상황을 가진 반도체 공정 주기신호 데이터를 사용하여 제안한 이상탐지 성능을 평가하였다.
#Cyclic Signal #Visualization #SOM #Fault Detection

목차

Abstract
1. 서론
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 실험 및 결과 분석
4. 결 론
감사의 글
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