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저자정보
Myung-Jin Chung (Korea Polytechnic University) Seong-Guk Oh (TACT Co.)
저널정보
제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집 ICCAS 2008
발행연도
2008.10
수록면
970 - 973 (4page)

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Micro universal testing machine (UTM) System for material property measurement of micro structure is proposed. This system using for elongation, compression, repeat vibration, and thin film exfoliation test is developed by analysis of driving property of the voice coil motor (VCM), and consisted with sensing module, driving module, signal analysis module, and alignment module. To verify the applicability of developed micro UTM system in the micro structure, performance test is conducted. From the performance test, the developed micro UTM system has performance such as maximum force of 29.4mN, unit force of 0.029mN, full stroke of ± 1mm, unit stroke of 1μm, respectively. Developed micro UTM system can be applicable in the micro structure.
#Micro UTM system #material property #micro structure #voice coil motor

목차

Abstract
1. INTRODUCTION
2. CONFIGURATION OF MICRO UTM SYSTEM
3. DESIGN OF MICRO UTM SYSTEM
4. MANUFACTURING OF MICRO UTM SYSTEM
5. EXPERIMENTAL RESULTS
6. CONCLUSIONS
ACKNOWLEDGMENTS

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