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최환진 (과학기술연합대학원대학교) 박언석 (과학기술연합대학원대학교) 전은채 (한국기계연구원) 제태진 (한국기계연구원) 최두선 (한국기계연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.29 No.12
발행연도
2012.12
수록면
1,279 - 1,284 (6page)

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Micro structures which are widely used at various fields are commonly fabricated by lithograph, etching and laser methods. Recently, with the emergence of micro tools and ultra-precision machine tools, fabrication of the micro structures obtained using end-milling are studied. However, there are some problems due to the diameter of the micro end-mill getting smaller below 100 μm. The micro run-out resulted from miniaturization of end-mills have influence seriously on accuracy of micro structures. The error of run-out with a tooling jig showed a decrease of about 9.3 μm. Furthermore, micro structures with width of 30 μm could be applied through experiments of slot machining obtained using 30 and 50 μm end-mill. Also, narrow angle structures with 30° angle could be applied through analysis of machining acute angle structures. Based on basic experiments, micro fluidics channels and spiral patterns for air bearing were machined.
#Micro End-milling(초소경 엔드밀링) #Micro Structures(마이크로 구조물) #Tool Setting(공구 장착) #SlotMachining(슬롯 가공) #Narrow Angle Machining(협각 가공)

목차

1. 서론
2. 공구 회전 오차(Run-out) 최소화를 위한 공구세팅 장치
3. 마이크로 슬롯 가공 특성 분석
4. 예각형상 구조물의 가공특성
5. 마이크로 엔드밀링 응용가공 기술
6. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (5)

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강익수, 정연식, 권동희, 김전하, 김정석, 안중환. 마이크로 엔드밀링에서 AE 신호를 이용한 공구상태 감시. Journal of the Korean Society for Precision Engineering. 2006 dbpia 노병국, 김우식, 심광보. 광조형법과 UV포토리소그래피를 이용한 웨이브 마이크로펌프 미세 채널 제작. Journal of the Korean Society for Precision Engineering. 2007 dbpia 이기용, 이동규, 이근우, 박진호, 김정석. 4날 엔드밀 가공시 런아웃 모델링과 측정 방법. Journal of the Korean Society for Precision Engineering. 2004 dbpia 전두성, 서태일, 윤길상. 측면가공에서 마이크로 엔드밀의 공구변형에 의한 절삭가공오차 보상에 관한 연구. 한국생산제조학회지. 2008 dbpia 제태진, 최두선, 이응숙, 홍성민, 이종찬, 최 환. 미세 폴 구조물 가공을 위한 마이크로 앤드밀링 기술. 한국기계가공학회지. 2005 dbpia

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