지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.11
- 수록면
- 2,875 - 2,878 (4page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
Liquid crystal display device is a Display Industry demand evolve, and also has increased the size of a glass substrate. The size of the glass substrate increases, price will go up too. And fine pattern on a glass substrate configuration as the production costs of Liquid crystal display device will go up further. So the end of production of fine patterns of a liquid crystal display device malfunction occurs in some cases lose their commercial value. Away valuable products, by modifying the circuit to restore if you can help improve productivity. How to restore the fine pattern of Liquid crystal display device using Laser CVD Repair is the way. In this case, the Source to the Mo, W is used, what material is suitable as the Source is a comparative study of characteristics.
목차
Abstract
1. 서론
2. 이론적 배경
3. 박막트랜지스터 형성 방법
4. LCDV(Laser Chemical Vapor Deposition)
5. 실험 방법
6. 결과 및 고찰
7. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (0)
참고문헌 신청이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
반도체 및 디스플레이 산업에서의 레이저 가공 기술
조광우
,
박홍진
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2010
.06
CVD 공정 STI Void Mechanism 규명 및 개선
김나경
,
김경호
,
이호철
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012
.10
CVD공정에 의해 증착된 DLC (Diamond-like Carbon) 박막의 질화층 형성에 따른 밀착력 특성 연구
박민석
,
김왕렬
,
신창석
외 2명
한국진공학회 학술발표회초록집
2012
.02
박막제조 기술의 동향과 전망
정재인
,
양지훈
한국자기학회지
2011
.10
대한기계학회 열공학부문 춘계학술대회를 맞이하며
김용진
,
김성진
대한기계학회 춘추학술대회
2011
.05
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2014-550-000794654