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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.11
- 수록면
- 2,898 - 2,902 (5page)
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MEMS sensors have been highly developed for various applications. Among them, force measuring is basic and important issue for long time. In this research, we present design, fabrication and testing process of MEMS force measuring device. Simplified model calculations and FEA (finite elements analysis) were used to estimate the mechanical and electrical changes by applying force. Based on the analysis, fabrication process which could make a capacitor with 2 μm gap between two substrates was designed. Also, “half-cutting” method which could be applied to various packaging process was developed. Then, highly precision force applying test was preformed from 0 kg to 150 kg. When 150 kg force applied on the device, capacitance change was 23.44 pF which means 0.156 pF/kg in sensitivity.
목차
Abstract
1. 서론
2. 센서설계
3. 센서제작
4. 실험 및 분석
5. 결론
후기
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