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김동현 (홍익대학교) 손기헌 (서강대학교) 허남건 (서강대학교) 김병국 (비아트론) 김형준 (비아트론) 박승호 (홍익대학교)
저널정보
한국전산유체공학회 한국전산유체공학회지 한국전산유체공학회지 제17권 제4호
발행연도
2012.12
수록면
16 - 23 (8page)

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degassing, crystallization of thin-films, tempering, forming, and precompaction. Estimation of the characteristics of transient heating stages and thermal non-uniformities on a single glass substrate or in a stack of glasses are extremely helpful to understand non-homogeneity of mechanical and electronic features of nano/micro structures of end products. Based on simple heat transfer models and using an electric muffle furnace, temperature variations in a glass stack were predicted and measured for glass backplanes of 1.5 × 1.85 ㎡ in size and 0.7 mm in thickness. Except for the period of putting glass backplanes into the furnace, thermal radiation was the major heating mechanism for the treatment and theoretical predictions agreed well to the experimental temperatures on the backplanes. Using the theoretical model, thermal fields for a glass stack of glass-size, 2.2 × 2.5 ㎡, and of the number of sheets, 1 to 12, were calculated for practical design and manufacturing of the muffle furnace for large-scale displays, e.g. up to 8<SUP>th</SUP> generation.
#열처리 (Thermal Treatment) #유리기판 (Glass Substrate) #대면적 디스플레이 (Large-Scale Display)

목차

1. 서론
2. 실험과 해석 모델
3. 결과와 토론
3. 결론
참고문헌

참고문헌 (21)

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1. [학술지(정기간행물)] - Ohdaira, K / 2009 / Precursor Cat-CVD a-Si films for the formation of high-quality poly-Si films on glass substrates by flash lamp annealing / Thin Solid Films 517 : 3472 ~ 3475 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Pecora, A / 2003 / Lateral Growth Control by Thickness Spatial Modulation ofAmorphous Silicon Film / Thin Solid Films 427 : 314 ~ 318 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Kim, D.H. / 2011 / In-situ Observation of Phase Transformation in Amorphous Silicon Duriong Joule-Heating Induced Crystallization Process / Thin Solid Films 519 : 5516 ~ 5522 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Kim, B.D / 2003 / Solid Phase Crystallization of Amorphous Silicon on Glass by Thin Film Heater for Thin Film Transistor(TFT) Application / Journal of Microelectronics 34 : 767 ~ 771 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Lee, S.W / 1996 / Low Temperature Poly Si Thin Film Transistor Fabrication by Metal Induced Lateral Crystallization / IEEE Eletron Device Letters : 60 ~ 162 google schola

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