무전해 도금 코팅 공정을 이용한 은 박막의 두께 변화에 따른 트라이볼로지 특성

이현대; 김대은

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 이현대 (연세대학교) 김대은 (연세대학교)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제37권 제2호

발행연도: 2013.2

수록면: 219 - 225 (7page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

본 연구에서는 무전해 도금 코팅방법을 이용하여 생성한 Ag 박막의 기계적 특성을 고찰하였다. 이 코팅방법은 화학적 반응을 통해 금속박막을 기판 위에 형성할 수 있는 공정으로써 비교적 간단하고 경제적이며 전기도금과 비교했을 때 도체뿐만 아니라 부도체에도 적용할 수 있다는 유리한 장점이 있다. 따라서 반도체에서부터 기계부품에 이르기까지 산업전반에 걸쳐 다양하게 적용되고 있는 코팅방법이다. 본 연구에서는 무전해 도금 공정의 변수에 따라 형성되는 Ag 박막의 기계적 특성을 파악하는데 중점을 두었다. 특히, 무전해 도금방법을 이용해 제작한 코팅 시편에 대해 도금시간에 따른 거칠기 및 두께에 대한 분석을 실시하였으며 AFM, SEM, Tribotester 와 같은 장비를 이용하여 트라이볼로지적 특성을 규명하였다.

#Electroless-Plating #Friction #Roughness #Thickness #Wear.

참고문헌 (17)

참고문헌 신청

1. [학술지(정기간행물)] - Ku, I. S. Y / 2011 / Wear of Silicon Surfaces in MEMS / Wear 271 : 1050 ~ 1058

2. [학술지(정기간행물)] - Kim, S. H / 2007 / Nanotribology and MEMS / Nanotoday 2 (5) : 22 ~ 29

3. [학술지(정기간행물)] - Kim, H. J / 2009 / Effects of Self-Assembled Monolayer and PFPE Lubricant on Wear Characteristics of Flat Silicon Tips / Tribology Letters 34 (1) : 61 ~ 73

4. [학술지(정기간행물)] - Miyake, S / 2011 / Low Friction wear Resistant Electroconductive Gold and Silver Nanoperiod Multilayer Solid Lubricant Films / Tribology-Materials. Surfaces & Interfaces 5 (3) : 114 ~ 120

5. [학술지(정기간행물)] - Shancham-Diamand, Y / 2000 / Electroless Silver and Silver with Tungsten Thin Film for Microelectronics and Microelectromechanical System Applications / Journal of The Electrochemical Society 147 (9) : 3345 ~ 3349

이 논문의 저자 정보

이현대

소속기관 연세대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 5 이용수 764

DaeEun Kim

소속기관 연세대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 제어계측공학 TOP 5% 공학 > 전기전자공학 > 전기공학 TOP 10%

논문수 430 이용수 24,551

이 논문과 함께 이용한 논문

전기도금법을 이용한 니켈-철 박막의 물성과 자성 조절

서호영 , 남경호 , 홍기민 한국자기학회지 2012 .04

Friction Reduction Properties of Evaporation Coated Petroleum and Silicone Oil Lubricants

Shin Sung Yoo , Dae Eun Kim Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2013 .08

나노트라이볼로지 - 초정밀 미세시스템에의 응용과 전망

김대은 , 서인하 , 정구현 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2002 .01

450mm 반도체 CVD 장비 및 300mm F-CVD 공정용 8kW급 주파수 가변형 RF Generator 개발

김대욱 , 양대기 , 안영오 외 3명 전력전자학회 학술대회 논문집 2014 .07

시스템 반도체 FAB의 긴급 주문 납기 만족을 위한 디스패칭 기반의 동적 장비 할당

정용호 , 함원경 , 박상철 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집 2014 .05

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2014-550-000422197

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (17)

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)