마이크로 압전 소자용 후막 PZT의 제조 및 물성 평가

Q: 이 논문에서 정의한 후막 PZT란 무엇인가?

마이크로 압전 소자에서 높은 구동력과 높은 절연 파괴 전압 및 높은 감도를 구현하기 위해 필요한 두꺼운 PZT 막을 의미한다. 본 연구에서는 Sol-Gel multi-coating 방법을 통해 2.7μm에서 4.4μm 두께로 제작된 페로브스카이트 구조의 압전 박막을 지칭한다.

Q: Sol-Gel multi-coating으로 제작한 PZT 후막의 전기적 특성은 어떠한가?

연구 결과, 제작된 PZT 후막은 1kHz에서 880~1650의 유전율과 2~3%의 낮은 유전 손실을 보였다. 또한 26~32μC/cm²의 잔류 분극과 33~60kV/cm의 항전계를 나타내어 마이크로 압전 소자로의 응용 가능성을 입증하였다.

박준식; 박광범; 윤대원; 박효덕; 강성군; 최태훈; 이낙규; 나경환

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박준식 박광범 윤대원 박효덕 강성군 최태훈 이낙규 나경환

저널정보: 한국소성·가공학회 소성·가공 소성가공 제11권 제7호

발행연도: 2002.11

수록면: 569 - 574 (6page)

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Recently, thick PZT films are required for the cases of micro piezoelectric devices with high driving force, high breakdown voltage and high sensitivity, and so on. In this work, thick PZT films were fabricated by Sol-Gel multi-coating method. Microstructures, and electrical properties of films were investigated by XRD, FESEM, impedance analyzer, and P-E hysteresis. PZT films with 2.7μm to 4.4μm thickness were fabricated. Dielectric constant, loss, remnant polarization and coercive field of them were 880~1650 at 1kHz, 2~3% at 1kHz, 26~32 μC/cm², and 33~60kV/cm, respectively. Also a transverse piezoelectric coefficient (e₃₁,f) measurement system was fabricated and tested for thick film samples.

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