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저자정보
설재완 (한국기술교육대학교) 주병윤 (한국기술교육대학교) 임성한 (한국기술교육대학교)
저널정보
한국소성·가공학회 한국소성가공학회 학술대회 논문집 2009년도 한국소성가공학회 추계학술대회 논문집
발행연도
2009.10
수록면
267 - 270 (4page)

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In the present investigation, we are newly developing a new forming process which can fabricate micro patterns on large-area polymeric substrates for high speed mass production. The key idea of the new process is to pressurize multiple vacuum-packed substrate-mold stacks above the glass transition temperature (Tg) of the polymeric substrates. The new process is thought to be promising micro-pattern fabrication technique in three aspects; firstly, isostatic pressing ensures the uniform micro-pattern replicating condition regardless of the substrate area. Secondly, the control of forming condition such as temperature and pressure can realize well-defined process condition exploited in the conventional hot embossing research field. Thirdly, multiple substrates can be patterned at the same time. A prototype forming machine for the new process was developed with the design consideration realizing the present idea. With a developed machine, micro prismatic array patterns with 50 um in size were successfully made on the 380×300×6 mm PMMA plate.
#warm isostatic pressing #micro hot embossing

목차

Abstract
1. 서론
2. 정수압 성형 시스템의 개발
3. 정수압 성형공정을 이용한 대면적 미세 패턴 제작
4. 결론
참고문헌

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