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한국소성·가공학회 한국소성가공학회 학술대회 논문집 2006년도 한국소성가공학회 춘계학술대회 논문집
발행연도
2006.5
수록면
109 - 112 (4page)

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2006

불화 함유 다이아몬드 상 탄소 스탬프를 사용하는 UV 나노임프린트 리소그래피
정준호 ,  알툰알리 ,  나종주 외 4명 한국소성가공학회 학술대회 논문집 2006.05 학술대회자료

2004

다중양각스탬프를 사용하는 UV 나노임프린트 리소그래피공정에서 웨이퍼 미소변형의 영향
정준호 ,  심영석 ,  최대근 외 6명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.10 학술대회자료
다중 디스펜싱 방법에 의한 UV-나노임프린트 리소그래피
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2003

UV 나노임프린트 리소그래피용 UV 투과성 나노스탬프 제작
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Multi-dispensing 방법에 의한 UV-나노임프린트 리소그래피 기술
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목차

Abstract
1. Introduction
2. Experiments and Results
3. Conclusions
Acknowledgements
References

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