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양우열 (한남대학교) 신명근 (한남대학교) 김형만 (한남대학교) 한상철 (한남대학교) 성인하 (한남대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제37권 제4호
발행연도
2013.4
수록면
467 - 473 (7page)

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본 연구에서는 SU-8 박막의 마이크로시스템으로의 트라이볼로지적 응용을 목적으로 하여, 원자간 힘 현미경(AFM) 과 콜로이드 프로브를 이용한 실험 및 유한요소해석 기법을 이용하여 SU-8 코팅층의 두께에 따른 트라이볼로지적 특성을 고찰하였다. SU-8 시편은 스핀 코팅기법을 이용하여 두께를 다르게 하여 제작하였다. 실험결과 코팅두께가 증가함에 따라 마찰력과 점착력이 감소하여 박막두께에 따른 차이가 존재함을 알 수 있었고, SU-8 표면이 Si 표면에서보다 더 낮은 점착력과 마찰력을 보여주었다. 또한, 시뮬레이션을 통해 두께별로 박막 파손을 유발시키는 임계하중(압력)이 존재하며, 본 연구에서의 200~800 nm 두께범위에서는 1.2~1.8 GPa 로 측정되었다.
#SU-8 Photoresist(SU-8 포토레지스트) #Friction(마찰) #Adhesion(점착) #Finite Element Analysis(유한요소해석) #Atomic Force Microscope(원자간 힘 현미경) #Critical Load(임계하중)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 연구내용 및 방법
3. 결과 및 토의
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
1. [단행본] - Baker, A / 2004 / Composite Materials for Aircraft Structures / AIAA Education Series google schola 2. [보고서] - Long, M. W / 1992 / Probabilistic Design Methodology for Composite Aircraft Structures google schola 3. [학술지(정기간행물)] - 이석제 / 2007 / 다양한 설계 요구조건을 고려한 복합재 평판의 신뢰성 해석 / Composites Research 20 (4) : 25 ~ 30 dbpia 4. [단행본] - Yang, Y. S / 1999 / Structural Reliability Analysis / Publishing Devision of Seoul National University : 67 ~ 75 google schola 5. [단행본] - Haldar, A / 2000 / Reliability Assessment using Stochastic Finite Element Analysis / John Wiley & Sons Inc google schola

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