반도체 Bump 검사를 위한 백색광 주사 간섭계의 고속화

Q: 이 논문에서 정의한 백색광 주사 간섭계란 무엇인가?

넓은 주파수 대역의 백색광을 이용하여 물체의 3차원 형상을 정밀하게 측정하는 광학 측정 시스템이다. PZT 액추에이터를 통해 간섭 무늬를 생성하고 이를 분석하여 대상물의 높이 정보를 추출하는 원리로 작동한다.

Q: 백색광 간섭계의 검사 속도를 향상시키기 위한 핵심 방법은 무엇인가?

연구 결과, 4M 카메라를 적용한 대영역 광학계 구축과 PZT 동기화 고속 영상 획득 기법, 그리고 Multi-thread 기반의 병렬 처리 다중 PC 기법을 통합 적용함으로써 영상 획득 및 연산 속도를 획기적으로 개선하였다.

고국원; 심재환; 김민영

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자료유형: 학술저널

저자정보: 고국원 (선문대학교) 심재환 (선문대학교) 김민영 (경북대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.30 No.7

발행연도: 2013.7

수록면: 702 - 708 (7page)

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The white-light scanning interferometer (WSI) is an effective optical measurement system for high-precision industries (e.g., flat-panel display and electronics packaging manufacturers) and semiconductor manufacturing industries. Its major disadvantages include a slow image-capturing speed for interferogram acquisition and a high computational cost for peak-detection on the acquired interferogram. Here, a WSI system is proposed for the semiconductor inspection process. The new imaging acquisition technique uses an ‘on-the-fly’ imaging system. During the vertical scanning motion of the WSI, interference fringe images are sequentially acquired at a series of pre-defined lens positions, without conventional stepwise motions. To reduce the calculation time, a parallel computing method is used to link multiple personal computers (PCs). Experiments were performed to evaluate the proposed high-speed WSI system.

#White-light Scanning Interferometer (백색광 주사 간섭계) #Wafer Bump Inspection (웨이퍼 범프 검사)

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