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저자정보
이동진 (한국표준과학연구원) 조윤호 (부산대학교) 장강원 (세종대학교) 조승현 (한국표준과학연구원) 안봉영 (한국표준과학연구원)
저널정보
한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 비파괴검사학회지 제32권 제1호
발행연도
2012.2
수록면
41 - 46 (6page)

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MEMS/NEMS 구조체의 개발과 응용기술의 발달로 박판 및 박막의 기계적 물성 평가에 대한 요구가 점차 늘어나고 있다. 기계적 물성은 주로 인장시험이나 초음파의 속도 측정으로 평가되어 왔으나, 박판/박막 구조의 경우 기존의 기술로는 측정에 한계가 있어 나노압입시험법, 유도초음파법 등의 새로운 기술이 개발되고 있다. 본 연구에서는 박판 구조의 금속재료의 탄성계수를 평가하기 위하여 EMAT으로 송수신된 박판내에서의 유도초음파 진행 속도를 측정하였으며, 이론적으로 계산된 유도초음파 군속도와 실험적인 군속도의 최적화 과정을 통해 최종적으로 박판의 탄성계수를 평가하였다. 두께 50 μm의 니켈 박판에서 측정된 영률은 201.6 GPa이었으며, 나노압입시험법으로 측정된 207 GPa, 참고문헌의 203.7 GPa과 비교하면 약 3% 내에서 일치하는 결과이다.
#탄성계수 #금속 박판 #EMAT #유도초음파 #군속도 #Elastic Modulus #Thin Metallic Plate #EMAT #Guided Wave #Group Velocity

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 탄성계수 추정을 위한 최적화 과정
3. 유도초음파 속도 측정
4. 결과
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (13)

참고문헌 신청
1. [단행본] - Joseph L. Rose / 1999 / Ultrasonic Waves in Solid Media / Cambridge University Press google schola 6. [학술지(정기간행물)] - W. P. Rogers / 1995 / Elastic property measurement using Rayleigh-Lamb waves / Res. Nondestr. Eval 6 : 185 ~ 208 google schola 7. [학술지(정기간행물)] - Weimin Gao / 2003 / Laser ultrasonic study of Lamb waves: determination of the thickeness and velocities of a thin plate / International Journal of Engineering Science 41 : 219 ~ 228 google schola 8. [학술지(정기간행물)] - 안봉영 / 1997 / EMAT을 이용한 판재의 소성이방성 평가 / 비파괴검사학회지 17 (4) : 270 ~ 277 dbpia 12. [단행본] - Graff KF / 1975 / Wave Motion in Elastic Solids / Ohio State University Press google schola

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