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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.7
- 수록면
- 1,043 - 1,051 (9page)
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I비행체의 이동속도를 측정하는 차압센서는 Air Data Module의 핵심부품으로 높은 정밀도가 요구되며 해외에서 수입되고 있다. 이로 인해 많은 시간과 비용이 지출되고 핵심부품을 해외에 의존하게 되므로 국산화된 차압센서 개발이 필요하다. 따라서 본 연구에서는 국산화를 위해 MEMS 고정밀 차압센서를 설계 및 제작하였다. 센서는 SOI 웨이퍼와 고횡비 실리콘 식각 기술을 이용하여 박막 두께와 크기를 정밀하게 제어하였다. 압력에 의해 발생된 박막의 응력은 이온주입으로 형성된 압저항의 저항값 변화로 나타나며, 이러한 압저항은 온도의 영향을 최소화하기 위하여 휘스톤 브릿지 형태로 구성하였다. 제작된 센서는 압력이 누설되지 않도록 설계 및 제작된 고신뢰 패키지에 조립되었다. 개발된 센서는 최대 차압 20psi(137.9㎪)까지 측정 가능하며, 비선형성 0.1%FSO 이하, 반복성 0.05%FSO 이하, 히스테리시스 0.1%FSO 이하의 성능을 가진다. 이는 현재 도입되고 있는 해외 부품의 성능과 유사한 정밀도로 Air Data Module용 차압센서의 수입대체뿐만 아니라 특수 산업용 분야까지 적용 가능할 것으로 기대된다.
목차
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
참고문헌
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