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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
한규범 (서울과학기술대학교) 장현아 (서울과학기술대학교) 안효석 (서울과학기술대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants 윤활학회지 제29권 제4호
발행연도
2013.8
수록면
213 - 217 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2014

전기화학적 에칭에 의한 AFM용 텅스텐 탐침의 강성 제어
한규범 ,  이승제 ,  안효석 Tribology and Lubricants 2014.08 학술저널
전기화학적 에칭에 의한 AFM용 텅스텐 탐침의 스프링 상수 제어
한규범 ,  반우진 ,  이승제 외 2명 한국트라이볼로지학회 학술대회 2014.04 학술대회자료

2013

전기화학적 에칭법을 이용한 AFM용 텅스텐 탐침 제작에 관한 연구
한규범 ,  장현아 ,  안효석 Tribology and Lubricants 2013.08 학술저널
전기화학에칭법을 이용한 AFM용 텅스텐 탐침 제작에 관한 연구
한규범 ,  장현아 ,  안효석 한국트라이볼로지학회 학술대회 2013.04 학술대회자료

초록· 키워드

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As commercial atomic force microscopy (AFM) probes made of Si and Si3N4 have low stiffness, it is difficult to induce sufficient elastic deformation on the surface of a specimen in a tapping mode. Therefore, high-guality phase contrast images can not obtained. On the other hand, a tungsten AFM probe has relatively higher stiffness than a commercial AFM probe. Accordingly, it is expected to provide an enhanced phase contrast image, which is an effective tool for achieving a better understanding of the micromechanical properties of worn surfaces and wear mechanisms. In this study, on electrochemical etching method was optimized to fabricate tungsten probe tips for an AFM. Electrochemical etching was performed by applying pulse waves with a 20% duty cycle at various voltages instead of only a DC voltage, which has been commonly used.
#pulse width modulation (펄스 폭 변조) #atomic force microscopy (원자력현미경) #duty cycle (듀티사이클) #electrochemical etching (전기화학적 에칭) #tungsten wire (텅스텐와이어)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과
4. 결론
References

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
H. S. Ahn / 2002 / Application of Phase Contrast Imaging Atomic Force Microscopy to Tribofilms on DLC Coatings / Wear 249:617~625 google schola G. Binnig / 1982 / Scanning Tunneling Microscopy / Helv. Phys. Acta 55:726~735 google schola E. W. Muller / 1968 / Field Ion Microscopy / Elsever google schola D. I. Kim / 2002 / Etching voltage control technique for electrochemical fabrication of scanning probe microscope tips / Rev. Sci. Instrum 73:1337~1339 google schola C. S. Kim / 2007 / Fabrication and Evaluation of Electron Beam Tip for Field Emission / Proceedings of the KSME Spring conference :224~228 google schola

이 논문의 저자 정보

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