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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이양래 (한국기계연구원) 김현세 (한국기계연구원) 임의수 (한국기계연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.30 No.11
발행연도
2013.11
수록면
1,193 - 1,201 (9page)

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Improved far field type(improved type) megasonic applicable to the cleaning equipment of single wafer processing type has been developed. In this study, to improve the uniformity of acoustic pressure distribution(APD), we utilize far field with relatively uniform APD, piezoelectric ceramic with a triangle hole in its center to prevent standing wave resulted from radial mode, and reflected wave from the wall of waveguide. On the basis of these methods, two analysis models of improved type were designed to which piezoelectric ceramic of different shape of electrode attached, and APD were analyzed by means of finite element method, and then one of them was selected by analysis results, finally, the selected model was fabricated. Test results show that the fabricated is better in the uniformity of APD than the imported and the conventional, also the fabricated shows high particle removal efficiency of 92.3% using DI water alone as a cleaning solution.

목차

1. 서론
2. 음압분포의 분석 및 개선방법
3. 메가소닉 진동자의 해석모델 및 해석
4. 메가소닉의 제작 및 성능평가
5. 결론
참고문헌

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