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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
한동희 (서울시립대학교) 김일광 (서울시립대학교) 이수일 (서울시립대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2013년도 학술대회
발행연도
2013.12
수록면
2,071 - 2,074 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2015

등가강성요소 모델을 이용한 AFM 마이크로캔틸레버의 진동해석
한동희 ,  김일광 ,  이수일 대한기계학회 논문집 A권 2015.05 학술저널

2013

등가강성요소모델을 이용한 AFM 마이크로캔틸레버 진동해석
한동희 ,  김일광 ,  이수일 대한기계학회 춘추학술대회 2013.12 학술대회자료

초록· 키워드

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Atomic force microscope(AFM) is very powerful tool for finding various properties of sample using interactions between a sample surface and a probe tip when the tip is approached to the sample. In this paper, we modeled the interaction between the sample and the tip of AFM microcantilever as a single nonlinear spring with equivalent stiffness element and we simulated dynamic behaviors of AFM microcantilevers using finite element method(FEM), ANSYS. With the simulation results, we analyzed complex dynamic responses of AFM cantilever using proper orthogonal decomposition(POD). Also we compared them with experimental result with same method. Consequently the results were extracted as summation of principle modes. And the extracted modes of simulation result are similar to extracted modes of experiment result respectively.
#Atomic force microscope(원자현미경) #Proper orthogonal decomposition(적합직교분해) #Finite element method(유한요소법) #Microcantilever(마이크로캔틸레버)

목차

Abstract
1. 서론
2. AFM 마이크로캔틸레버 모델링
3. 적합직교분해법(POD)
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

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