회전박막제조기의 진동 및 입자발생이 박막제조에 미치는 영향에 관한 연구

Q: 이 논문에서 정의한 스핀코터란 무엇인가?

스핀코터는 코팅 공정에 사용되는 장치로, 코팅 용액을 웨이퍼나 유리와 같은 평판에 떨어뜨린 후 평판을 회전시켜 원심력을 이용해 얇은 코팅막을 형성한다. 이 과정에서 코팅면이 평탄하고 두께가 균일해야 한다.

Q: 스핀코터의 진동이 박막 제조 불량에 어떤 영향을 미치는가?

연구 결과, 스핀코터의 진동은 코팅 공정 중 코팅 용액 입자 발생을 유발하며, 특히 회전축의 과도한 진동이 입자 발생량을 증가시킨다. 이러한 입자들은 박막 제품 표면에 침착되어 불량률을 높이는 주요 원인이 된다.

허진욱; 권태종; 정진태; 한창수; 안강호

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자료유형: 학술저널

저자정보: 허진욱 권태종 정진태 한창수 안강호

저널정보: 한국소음진동공학회 한국소음진동공학회논문집 한국소음진동공학회논문집 제11권 제4호

발행연도: 2001.7

수록면: 31 - 36 (6page)

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A spin coater is a machine to coat wafer or LCD display with thin film. Vibration in the spin coater may be one of main troubles in the coating process. In this paper, we focus on the difference between two spin coaters. Vibration sources are identified by experimental approach and are compared to find the difference between the two spin coaters. Also, the particle concentration is observed by laser particle counter (LPC) for the two spin coaters, when the spin coaxers are working. It is also considered whether the defect rate is proportional to the particle concentration. The result shows that particle generation in the coating process is related to excessive vibration of the spin coater shaft and the particles influence the defect rate of the thin film product.

#박막공정 #입자발생 #주파수분석 #진동 #회전박막제조기 #Frequency Analysis #Particle Generation #Spin Coater #Thin Film Process #Vibration

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