정전기력을 받는 마이크로 외팔보의 동적 해석

정강식; 문승재; 유홍희

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정강식 문승재 유홍희

저널정보: 한국소음진동공학회 한국소음진동공학회논문집 한국소음진동공학회논문집 제14권 제9호

발행연도: 2004.9

수록면: 846 - 851 (6page)

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2005

정전기력을 받는 마이크로 이중 외팔 보의 응답 및 모드 해석

정강식 , 문승재 , 유홍희 한국소음진동공학회논문집 2005.02 학술저널

2004

정전기력을 받는 마이크로 이중 외팔 보의 응답 및 모드 해석

정강식 , 문승재 , 유홍희 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2004.11 학술대회자료

정전기력을 받는 마이크로 외팔보의 동적 해석

정강식 , 문승재 , 유홍희 한국소음진동공학회논문집 2004.09 학술저널

정전기력을 받는 마이크로 외팔보의 동적 해석

정강식 , 문승재 , 유홍희 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2004.05 학술대회자료

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Static and dynamic responses of micro cantilever beam structures undertaking electrostatic forces are obtained employing Galerkin's method based on Euler beam theory. Variations of static and dynamic responses as well as resonant frequencies are estimated for several sets of beam properties and applied voltages. It is shown that the applied voltage influences the deflection and the modal characteristics significantly. Such information can be usefully employed for the design of MEMS structures.

#구조동역학 #마이크로 전자기계 시스템 #모드 해석 #외팔 보 #정전기력 #Cantilever Beam #Electrostatic Force #MEMS #Modal Analysis #Structural Dynamics

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[학술지(정기간행물)] - / 1998 / Microma- chined Transducers Sourcebook : 278 ~ 281

[학술지(정기간행물)] - / 1996 / Dynamics of Polysilicon Parallel-plate Electrostatic Actuators A52 : 216 ~ 220

[학술지(정기간행물)] - / 2000 / Electrostatic Actuator with Novel Shaped Cantilever : 223 ~ 227

[학술지(정기간행물)] - / 1998 / Feedback Control of Vibration in a Micromachined Cantilever Beam with Electrostatic Actuators : 537 ~ 550

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이 논문의 저자 정보

정강식

소속기관 한국소음진동공학회

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 5 이용수 66

문승재

소속기관 대한기계학회

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 8 이용수 825

정신우

소속기관 국방과학연구소

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논문수 509 이용수 27,703

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