압전 작동기를 이용한 새로운 디스펜싱 시스템 설계

구오흥; 최민규; 윤보영; 최승복

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자료유형: 학술저널

저자정보: 구오흥 최민규 윤보영 최승복

저널정보: 한국소음진동공학회 한국소음진동공학회논문집 한국소음진동공학회논문집 제16권 제7호

발행연도: 2006.7

수록면: 739 - 745 (7page)

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This paper presents a novel type of hybrid dispensing head for IC fabrication and surface mount technology. The proposed mechanism consists of solenoid valve and piezoelectric stack as actuators, and provides positive-displacement and jet dispensing. The positive-displacement dispensing can produce desired adhesive amount without viscosity effect, while the jet dispensing can produce high precision adhesive amount. In order to determine the relationship between required voltage of the piezoelectric actuator and needle displacement, both static and dynamic analysis are undertaken, In addition, finite element analysis is performed in order to find optimal design parameters. Dispensing flow rate and pressure in the chamber are evaluated through fluid dynamic model.

#디스펜싱 시스템 헤드 #압전 작동기 #유한 요소 해석 #하이브리드 헤드 #Dispensing System Head #Finite Element Analysis #Hybrid Head #Piezoelectric Stack

참고문헌 (7)

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[학술지(정기간행물)] - / 1997 / Practical Issues Concerning Dispensing Pump Technologies : 36 ~ 40

[학술지(정기간행물)] - / 1998 / Adhesives/epoxies & Dispensing : 114 ~ 122

[학술지(정기간행물)] - / 2001 / Micro Dispensing Comes of Age : 62 ~ 71

[학술지(정기간행물)] - / 2004 / Modeling of Positivedisplacement Fluid Dispensing Processes 27 (3) : 157 ~ 163

[학술지(정기간행물)] - / 2003 / A Piezoelectric Microvalve for Compact Highfrequency Journal of Microelectromechanical Systems 12 (1) : 81 ~ 92

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