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저자정보
김정훈 (부산대학교) 김소희 (부산대학교) 강호주 (부산대학교) 조상욱 (부산대학교) 이태호 (부산대학교) 정명영 (부산대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.31 No.6
발행연도
2014.6
수록면
469 - 475 (7page)

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The roll to roll (RTR) imprint process is an integrated imprinting process where steps ranging from assignment of a function to a flexible rolled substrate to rewinding of the same substrate in a roll are performed. RTR imprint is a green, low-cost technology without limitations. In RTR imprint, it is important to manufacture the mold precisely and maintain uniform process condition. To this, process conditions have to include precision tension control, optimization of process parameters. We introduced RTR imprint to fabricate planar lightwave circuit (PLC) device for communication, by new schematic design and process optimization, we fabricated successfully optical device. The fabricated optical device showed the optical performance which was satisfied to meet international standard.
#Optical device(광소자) #Imprint(임프린트) #Roll-to-roll imprint 롤투롤임프린트) #Optical interconnection(광접속)

목차

1. 서론
2. 광소자용 RTR 공정 기술
3. RTR 공정용 PLC 소자 설계
4. PLC 광소자 구현
5. 결론
REFERENCES

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
백용순 / 2013 / 대용량 광통신 부품 기술 동향 / 한국광학회지 24(6):297~310 dbpia Yasuda, N. / 2003 / Replicated Polymer Optical Waveguides / Proc. of SPIE on Active and Passive Optical Components for WDM Communica-tions III 5246:103~111 google schola Kobayashi, S. / 2009 / Polysilane Optical Waveguide Devices using Photo-bleaching Effect / Proc. of SPIE on Optoelectronic Integrated Circuits XI 7219:2009 google schola Dong, Y. / 2008 / Polymer Waveguide Grating Fabricated by Twophoton Initiated Photopolymerization and Its Application as an Input Coupler / Optical Materials 30(6):935~938 google schola Oh, S. H. / 2011 / Fabrication of Nickel Stamp with Improved Sidewall Roughness for Optical Devices / Microelectronic Engineering 88(9):2900~2907 google schola

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