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학술저널
저자정보
임홍재 (국민대학교) 이정석 (국민대학교) 이성훈 (국민대학교) 정재일 (국민대학교)
저널정보
한국소음진동공학회 한국소음진동공학회논문집 한국소음진동공학회논문집 제20권 제4호
발행연도
2010.4
수록면
355 - 360 (6page)

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In this study, a modeling process of a 3-axis planar alignment stage is suggested. Vibration tests using a laser vibro-meter is performed to find the modeling parameters of the stage. By analyzing the result of the test, the stiffness of prismatic joints and revolute joints, as well as the contact conditions of the thrust bearings, can be calculated. The modeling of the stage was validated by comparing six normal mode shapes, which are acquired from experiments and simulations.
#Equivalent Modeling(등가 모델링) #Vibration Test(진동 실험)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 스테이지 진동실험
3. 등가 스테이지 모델링
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (2)

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이승윤, 김성래, 정재일, 임홍재. CAE를 이용한 Visual Alignment System 의 진동해석 연구. 한국소음진동공학회 학술대회논문집. 2009 dbpia 이승윤, 김성래, 정재일, 임홍재. CAE를 이용한 Visual Alignment System의 진동해석 연구. 한국소음진동공학회논문집. 2009 dbpia

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