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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
서정철 (삼성전자) 정용호 (아주대학교) 박상철 (아주대학교)
저널정보
(사)한국CDE학회 한국CDE학회 논문집 한국CAD/CAM학회 논문집 제19권 제3호
발행연도
2014.9
수록면
236 - 244 (9page)

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Presented in the paper is a reservation based dispatching rule to achieve the on-time delivery in system LSI (large scale integrated circuit) semiconductor fabrication (FAB) with urgent orders. Using the proposed reservation based dispatching rule, urgent lots can be processed without waiting in a queue. It is possible to achieve the on-time delivery of urgent orders by reserving a proper tool for the next step in advance while urgent lots are being processed at the previous step. It can cause, however, tardiness of normal lots, because the proposed rule assign urgent lots first. To solve this problem, the proposed rule tries to find the best tool for the reservation in the tool group, which can minimize idle time, and the reservation rule is applied at all tools except for photolithography tools (bottleneck). MOZART® which is developed by VMS solutions are used for simulation experiments. The experimentation results show that the reservation based dispatching rule can achieve the on-time delivery of normal lots as well as urgent lots.
#dispatching #reservation #system LSI #semiconductor #urgent order

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 예약 기반의 디스패칭 룰
3. 실험 결과 및 분석
4. 결론
References

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