지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.11
- 수록면
- 61 - 61 (1page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
본 연구에서는 박막 태양전지용 투명전극으로 사용하기 위해서 Gun-type RF 마그네트론 스퍼트링을 이용하였다. 챔퍼안의 타겟은 AZO타겟(Zn: 98[wt.%], Al:2[wt.%]을 장착하였고 공정압력은 고진공을 유지하였다. 온도는 300?C로 고정하였고 전력은 70W로 고정하였다. Ar^+ 가스유량비를 20sccm~100sccm으로 변화를 주어 기판 위에 AZO를 증착하여 AZO의 구조적 및 광학적 특성의 의존성을 알아보았다. 모든 가스변화에서 400에서 700 nm까지의 가시광 ... 전체 초록 보기
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
원적외선의 특성
지철근
조명·전기설비
2001
.02
RF magnetron sputtering으로 증착한 AZO 박막의 타겟-기판 거리의 영향에 의한 특성
정성훈
,
박빛나
,
정충경
외 2명
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004
.05
청소년 성범죄자 재활 프로그램의 실태 및 개선방안
전영실
형사정책연구원 연구총서
2001
.12
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 Al 도핑된 ZnO 투명 전도 산화막의 Ar 유량에 따른 특성
이인환
,
김덕규
,
김홍배
Applied Science and Convergence Technology
2010
.05
공정 압력과 산소 가스비가 투명 플라스틱 기판에 성장시킨 AZO 박막에 미치는 영향
이준표
,
강서운
,
정양희
외 1명
전자공학회논문지-SD
2010
.02
최근 본 자료
댓글(0)
0