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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이성규 (서울시립대학교) 권원태 (서울시립대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제39권 제4호
발행연도
2015.4
수록면
301 - 307 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2015

양성자 빔을 이용한 3 차원 마이크로 구조물 가공
이성규 ,  권원태 대한기계학회 논문집 B권 2015.04 학술저널

2013

양성자 빔을 이용한 마이크로 구조물 가공성 확인 및 전산모사
이성규 기계정보공학과 2013.01 학위논문

초록· 키워드

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MC-50 사이클로트론에서 방출되는 양성자 빔은 직경이 2-3 mm 의 가우시안 분포를 가진다. 이렇게 넓게 조사되는 양성자 빔은 작은 스팟과 정밀한 위치정밀도를 요구하는 반도체 식각, 마이크로 머시닝 등에는 사용될 수 없다. 본 연구에서는 좀 더 경제적인 대안으로 양성자 빔을 마이크로 홀에 통과시켜 수십 μ m 의 직경을 가지도록 조형하는 방법을 제시하였다. 양성자 빔의 조형을 위하여 평균 직경 21μ m, 두께 9mm 의 세장비 428 의 마이크로 홀을 제작하였다. 마이크로 홀과 양성자 빔을 정밀하게 정렬하여 양성자 빔을 조형하였다. 이렇게 조형된 양성자 빔을 이용하여 수십μ m 크기의 마이크로 구조물의 가공성 확인 실험을 실시하였다. 또한 GEANT4 를 이용한 전산모사를 이용하여 해석한 후, 실험결과와 비교하고 분석하였다. 본 연구를 통하여 MC-50 사이클로트론이 조형 장치와 함께 20 마이크론 대의 3 차원 구조물 제작을 위한 마이크로 공정기술에의 사용 가능성을 확인하였다.
#Proton Beam(양성자 빔) #Extreme Aspect Ratio(극대 세장비) #Micro Hole (마이크로 홀) #Simulation(전산모사)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 극대 세장비 마이크로 홀의 제작
3. 양성자 빔 조사 실험 및 전산모사
4. 결론
참고문헌(References)

참고문헌 (13)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - 김흥배 / 2007 / 이온빔을 이용한 마이크로/나노 가공: 형상가공 / 한국정밀공학회지 24 (10) : 109 ~ 116 dbpia 2. [학술지(정기간행물)] - 김산하 / 2009 / 레이저 빔 가공과 방전 가공을 이용한 복합 미세 가공 / 한국정밀공학회지 26 (10) : 108 ~ 115 dbpia 3. [학술지(정기간행물)] - Kim, J. G. / 2008 / Nano-machining Technology Using Electron Beam / Jour. of the KSPE 25 (3) : 7 ~ 14 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Uchiya, N. / 2007 / Micromachining of Resists on Silicon by Proton Beam Writing / Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 260 (1) : 405 ~ 408 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Zhang, D. / 2009 / Surface Modification for the Perfluorosulfonate Proton-conducting Electrolyte Membrane / Applied Surface Science 255 (7) : 4119 ~ 4122 google schola

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