Effect of porogen structure on nanoporous organosilicate thin film with Low dielectric constant

이준구 ,  주상현 ,  이몽섭 외 5명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2001 .04

The Analysis of Mechanical Behaviors of Low Dielectric Organosilicate Films

김수한 ,  주상현 ,  차국헌 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2001 .10

Effect of Porosities on the Mechanical Properties of Nanoporous Organosilicate Thin Films

김수한 ,  차국헌 ,  한준희 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .04

CHARACTERIZATION OF NANOPOROUS STRUCTURE IN LOW-K THIN FILMS

주상현 ,  이준구 ,  김연상 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2000 .10

Ultralow-k nanoporous organosilicate dielectric films imprinted with dendritic spheres

Byeongdu Lee ,  Yong-hee Pa ,  k 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .10

Ordered Large-Pore Nanoporous Organosilicates Thin Films Prepared with Amphiphilic Copolymers

Whi ,  ang Cho ,  Kookheon Cha

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .10

The Effects of NH₃Plasma Treatment on the Density Profile of Low Dielectric Organosilicate Films

김수한 ,  주상현 ,  차국헌 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2002 .04

Nanoporous Organosilicate Thin Films Templated by Gemini Surfactant

김수한 ,  류이열 ,  한준희 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2004 .04

The Effects of NH₃ Plasma Treatment on Micromechanical Characteristics of Low Dielectric Organosilicate Films

김수한 ,  주상현 ,  차국헌

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2001 .04

Organosilicate Glass Dielectrics for High Performance FPD Applications

Choi ,  Dong-Kyu ,  Amako 외 7명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

Nanoporous Organosilicate Low-k Thin Films Prepared with Covalently Bonded Porogens

차봉준 ,  차국헌

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2004 .10

Scattering Studies of Nanoporous Organosilicate Thin Films Imprinted with Reactive Star Porogens

T. J. Lee ,  B. Lee ,  W. Oh 외 6명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .10

Thermally Stable Antireflective Coatings based on Nanoporous Organosilicate

Suhan Kim ,  Jinhan Cho ,  Kookheon Cha

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .10

Synthesis and Characterization of Organosilicate Polymer E-Beam Resists

심재환 ,  이성일 ,  남성욱 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2008 .04

A STUDY ON NANOPORE TEMPLATING IN ORGANOSILICATE TfflN FILM WITH LOW DIELECTRIC CONSTANT

이준구 ,  주상현 ,  차국헌

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2000 .10

Nanopore Generation in Low Dielectric Organosilicate and SiCOH Thin Films

Kyuyoung Heo ,  Jinhwan Yoon ,  Kyeong Sik Jin 외 5명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .10

Synthesis and Characterization of Mesoporous Organosilicate Thin Films Templated with Block Copolymers

조휘랑 ,  차국헌

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2004 .04

The Effect of the Chemical Reactivity of Porogen on Mechanical Properties and Pore Morphologies of Nanoporous Organosilicate Glass

이희우 ,  이태훈 ,  민성규 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .04

Characterization of Nanoporous Low-Dielectric Constant SiCOH Film using Organosilane precursors

Kyuyoung Heo ,  Jinhwan Yoon ,  Sung-Gyu Pa 외 6명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .10