Plasma damage-free sputtering of IZO top cathode for transparent perovskite solar cells

김재경 ,  서형진 ,  석해준 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Sputtering 공정 중 발생 된 in-film defect 분석 방법

정현재 ,  이선영 ,  김형우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Deposition technique of IGZO film for large sputtering cathode

Yasuo OOKUBO ,  Makoto ARAI ,  Junya KIYOTA 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Changing of spectral characteristics according to emitting position in Top-emission Organic Light-emitting Diodes

김상원 ,  박원혁 ,  박동필

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2018 .02

Mechanisms involved in modification of film structure and properties in ICP assisted dc and pulsed dc sputtering

Eiji Kusano

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

DC Sputter로 성장시킨 단열 스마트필름과 응용에 관한 연구

이동훈 ,  박은미 ,  하인호 외 4명

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2015 .08

Structural and morphological properties change of Zn and Sn thin films by sputter time

이석희 ,  박주연 ,  최아롬 외 3명

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2017 .02

Magnetron sputtering 장비의 Target erosion이 증착에 미치는 효과에 대한 2D PIC 시뮬레이션 해석

오세훈 ,  이윤호 ,  박건우 외 1명

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2018 .02

A Review of Inductively Coupled Plasma-Assisted Magnetron Sputter System

Tae Hyung Kim ,  Geun Young Yeom

Applied Science and Convergence Technology

2019 .09

Properties of microwave assisted sputter

Jung Rak LEE ,  Si Hyuk CHOI ,  Wan Woo PARK 외 4명

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2016 .08

Analysis of a-IGZO channel layer deposited via Pulsed-DC sputtering

Jiwon Choi ,  Jaemin Kim ,  Eun-Chel Cho 외 1명

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2021 .02

CFD-ACE+를 이용한 Gas Flow Sputtering 공정 해석

주정훈

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2016 .02

A new sputtering method : Neutral beam assisted sputtering system to form high quality gas barriers for OLED applications

SeungMin Shin ,  YunSung Jang ,  Seungjun Yi 외 1명

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2017 .02

RF magnetron sputtering과 O₂ plasma ashing 공정을 이용한 다공성 구조 박막 제작 및 특성 분석

장성우 ,  황세훈 ,  윤정현 외 2명

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2018 .02

라디오파 마그네트론 스퍼터링으로 성장한 CaWO₄:Dy³⁺ 박막의 광학, 구조, 표면 특성

조신호

새물리

2023 .10

Effect of Magnetic Field Shielded Sputtering process on the properties of ITO film

SeulGi Kim ,  DongHyeok Lee ,  KyungDuck Kim 외 1명

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2017 .02

Characteristic of Cu Film Controlled by Pulsed Power Using Magnetron Sputter System

김도한 ,  지유진 ,  김태형 외 4명

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2017 .02

Epitaxial growth of Tin Oxide thin films deposited by powder sputtering method

백은하 ,  김소진 ,  강현철

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2015 .08

In-doped Ga2O3 nano-wires synthesized by radio-frequency powder sputtering

최광현 ,  이미선 ,  강현철

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2015 .02

A simple method to predict mode transition condition in reactive sputtering

Kosuke KIMURA ,  Masato TAKEUCHI ,  Yuto IIJIMA 외 4명

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2016 .08