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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
장수욱 (국가핵융합연구소) 유현종 (국가핵융합연구소) 추원일 (국가핵융합연구소)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제48회 동계정기학술대회초록집
발행연도
2015.2
수록면
206 - 206 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2020

양방향의 진행파가 입사되는 원형 도파관을 이용한 선형 마이크로웨이브 플라즈마 발생원 설계
장수욱 ,  박종배 ,  정현영 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2020.02 학술대회자료

2018

이온빔 연마를 위한 고밀도 ECR 플라즈마 발생원 개발
장수욱 ,  최용섭 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2018.10 학술대회자료

2015

고전류 금속이온빔 발생을 위한 도파관 직접 연결형태의 ECR 플라즈마 소스 개발
장수욱 ,  유현종 ,  추원일 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.02 학술대회자료

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#금속이온빔 #ECR #Lisitano #도파관 직접정합

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